yabovip2019

  |  

400-677-0098
關鍵詞:化學氣相沉積爐CVDCVI沉積爐
臥式化學氣相沉積爐(沉積炭)
臥式化學氣相沉積爐(沉積炭)
產品描述:
臥式化學氣相沉積爐(沉積炭)主要用于以碳氫氣體(如C3H8、CH4等)為碳源的材料表面或基體的CVD/CVI處理
應用范圍:
炭/炭剎車盤、晶體爐坩堝、熱壓模具、高溫發熱體/緊固件、熱場材料等

臥式化學氣相沉積爐(沉積炭)技術特征

電阻爐可采用多溫區獨立控溫,溫度均勻性好;

采用智能壓力調控,壓力波動小;

全封閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強;

多通道工藝氣路,流程均勻,無沉積死角,沉積效果好;

多級高效尾氣處理系統,環境友好,易清理;

可選配外循環快冷系統,降溫時間短,生產效率高;

可用于高溫熱解炭沉積,最高溫度可達2200℃;

適用于工藝氣氛:真空/CH4/C3H6/H2/N2/Ar。

臥式化學氣相沉積爐(沉積炭)產品規格

參數\型號HCVD-060609-CHCVD-101015-CHCVD-121220-CHCVD-151530-CHCVD-252035-C
工作區尺寸 W×H×L(mm)600×600×9001000×1000×15001200×1200×20001500×1500×30002500×2000×3500
最高溫度(℃)15001500150015001500
溫度均勻性(℃)±7.5±7.5±10±10±10
極限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-100
壓升率(Pa/h)0.670.670.670.670.67
加熱方式電阻電阻電阻電阻電阻
以上參數可根據工藝要求進行調整,不作為驗收依據,具體以技術方案和協議為準。

臥式化學氣相沉積爐(沉積炭)配置選擇

結構形式:臥式-單開門/雙開門;立式-上出料/下出料

爐門鎖緊方式:手動/自動

爐殼材質:全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼

保溫材質:碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈/陶瓷纖維氈

加熱器、馬弗:石墨/CFC/金屬

熱電偶:K/N/C/S分度號

電源:KGPS/IGBT(僅適用于中頻加熱)

在線留言

復合材料熱工裝備
雅博体育 雅博体育 雅博体育 雅博体育 雅博体育 雅博体育 雅博体育 雅博体育 雅博体育 雅博体育